Гонка с препятствиями

Гонка с препятствиями

Когда восьмая пятилетка, первая пятилетка существования Министерства электронной промышленности подошла к концу, то оказалось, что за это время объем производства увеличился в три раза, производительность труда возросла на 181 процент, себестоимость продукции снизилась на 30,5 процента. В течение этих пяти лет постоянно проводилось снижение цен на изделия отрасли, благодаря которому в народном хозяйстве уже была достигнута экономия почти два миллиарда рублей, а с 1 января 1971 года цены на изделия электронной техники еще снизили на сумму 660 миллионов рублей.

А возможности и области применения электроники расширялись самым удивительным образом, в первую очередь благодаря всё новым успехам полупроводниковой промышленности, которая исключительно динамично развивалась во всех ведущих странах, и в первую очередь в США. В этой стране в период с 1972 по 1978 год стоимость продаж полупроводниковых приборов (в постоянных ценах) ежегодно возрастала почти на 20 %. Полупроводниковая отрасль вступала уже в третий этап своего развития. В первом, в пятидесятые годы, происходило создание основ полупроводниковой технологии. Появление интегральных схем ознаменовало вступление во второй этап, продолжавшийся все шестидесятые годы. В этот период шло постепенное повышение числа полупроводниковых элементов на одном кристалле — от схем с малой и средней степенью интеграции до первых больших интегральных схем, на кристаллах которых размещалось до десяти тысяч элементов.

Семидесятые годы положили начало третьему этапу, когда успехи в создании схем с высокой и сверхвысокой степенью интеграции, сделали возможным на одном и том же кристалле одновременно размещать элементы логики и памяти, и в конце 1973 года в зарубежной печати появились первые сообщения о создании микропроцессоров — больших интегральных схем, которые выполняли функции пока простейших вычислительных устройств. Тем самым для вычислительной техники и приборостроения были открыты совершенно новые, тогда еще труднопредсказуемые, возможности, роль электроники в развитии оборонной и экономической мощи становилась решающей.

В каждом из периодов время жизненного цикла новых полупроводниковых изделий сокращалось: если из всех внедренных в течение 50-х годов транзисторов более половины морально устаревали через два года, то к концу семидесятых это время сократилось вдвое. Темпы старения продукции обусловливали и короткий (от трех до пяти лет) жизненный цикл производящего ее оборудования.

От электронной промышленности СССР в ее соревновании с мировым уровнем требовалось сочетание быстрого количественного увеличения выпуска изделий электронной техники с радикальным их качественным совершенствованием, что на фоне общего замедления развития народного хозяйства страны и его качественного состояния представлялось совершенно невероятным (вспомните историю с переходом от паровозов к современным локомотивам). Несмотря на жесткость правил соревнования и несоответствие им производств сопутствующих материалов и оборудования в остальной промышленности, эта задача решалась МЭПом в целом успешно, и к середине семидесятых годов электронная промышленность СССР превратилась в одну из самых мощных в стране и продолжала бурно развиваться, увеличивая каждую пятилетку выпуск продукции в два-три раза.

В результате эффективной технической и экономической политики министерства, полупроводниковая промышленность, включая микроэлектронику, быстро превращалась в крупнейшее направление деятельности МЭП. В 1970 году в стране было выпущено 3,6 миллиона ИС 69-и серий: 30 серий было гибридными (толстопленочными и тонкопленочными), 7 серий полупроводниковые по технологии "металл-окисел-полупроводник" (МОП), 32 серии — полупроводниковые на основе p-n перехода и с диэлектрической изоляцией. Для выпуска новых поколений черно-белых и цветных телевизоров и радиоприемников была создана серия толстопленочных гибридных ИС (К-224). Разработкой и производством интегральных схем занимались уже около двадцати предприятий: НИИ, КБ, опытные и серийные заводы. На первые роли в развитии микроэлектроники с первых ее шагов вышел Воронежский завод полупроводниковых приборов (ВЗПП, директор Гарденин Н. И., главный инженер Колесников В. Г.). В КБ этого завода в 1964 году началась активная работа по созданию ИС.

Группа молодых специалистов (Никишин В. И., Толстых Б. Л., Удовик А. П., Петров Л. Н., Булгаков С. С., Завальский Ю. П., Хорошков Ю. И., Черников А. И., Горлов М. И.; многие из них стали потом крупными руководителями в электронной промышленности страны) в короткие сроки разработали образцы полупроводниковых ИС, которые к концу 1966 года были переданы в серийное производство. Разработка и организация массового производства на ВЗПП, а затем и на других заводах серии этих ИС, внесли большой вклад в развитие отрасли и сыграли огромную роль в создании важнейших оборонных комплексов страны.

Довольно скоро в МЭПе определились с тем, что основными для отрасли должны стать твердые схемы на кремнии, а гибридную технологию постепенно стали сворачивать, оставляя это поле деятельности создателям аппаратуры. НИИ "Пульсар", НИИМЭ, Воронежское КБ разработали базовые маршруты планарной технологии для производства ИС и планарных транзисторов. По их техническому заданию НИИТМ (директор Савин В. В.), Минское Конструкторское бюро точного электронного машиностроения (КБТЭМ, директор И. М. Глазков), НИИ технологии и организации производства в Горьком (НИИТОП, директор А. Г. Салин), НИИ полупроводникового машиностроения в Воронеже (НИИПМ, директор Лаврентьев К. А.), НИИ "Электронстандарт" (директор Гаген) разработали комплект технологического оборудования "Корунд", обеспечивающий массовый выпуск ИС и полупроводниковых приборов по планарной технологии.

Планарная технология построена на многократном повторении фотолитографического процесса, в результате которого на кремниевой пластине создаются защищенные и незащищенные фоторезистом области. Последние подвергаются соответствующей технологической обработке, после которой вновь поступают на следующий цикл фотолитографии. При этом точности совмещения изображений в последующих циклах должны быть много меньше технологических минимальных размеров создаваемого на кремниевой пластине элемента. В 1968 году они составляли 8 мкм, а в 1970 — уже 2 мкм. Естественно, что оптико — механическое оборудование, в частности фотоштампы, установки совмещения и экспонирования пластин, обеспечивающее фотолитографические процессы с такой точностью, попадало под торговое эмбарго западных стран. Отечественные же оптики-механики из Министерства оборонной промышленности (ГОИ и ЛОМО) под любыми предлогами отказывались от разработки нужных систем.

Разработка оптико-механического оборудования была поручена созданному в Минске Конструкторскому бюро точного электронного машиностроения (КБТЭМ). Первым его директором И. М. Глазковым был создан замечательный коллектив, прекрасное оптическое и механическое производство. К созданию оптико-механического оборудования была привлечена также широко известная фирма "Карл Цейс Йена" (ГДР).

Чтобы сделать микросхемы действительно доступными, массовыми нужно было переходить на кремниевые пластины повышенного диаметра. Так поступали во всем мире: ведь удвоение диаметра пластин позволяло разместить на ней вчетверо больше кристаллов. Это вело к повышению производительности труда, резкому снижению стоимости приборов, но одновременно повышало требования к оборудованию. Без улучшения технологии выход годных кристаллов с больших пластин не вырос бы, если бы даже не стал ниже. Накопленный опыт эксплуатации первых линий "Корунд" позволил поставить задачу по разработке новых высокопроизводительных автоматизированных линий на пластинах повышенного диаметра (до 75 мм), предназначенных для оснащения предприятий в следующей пятилетке (1971 — 1975 гг.). Задача эта была очень сложная для всех предприятий, поскольку даже самые передовые НИИМЭ с заводом "Микрон" в 1968 году еще работали на пластинах диаметром 25 мм, и только что перешли на пластины диаметром 40 мм. Ответственность за создание необходимых материалов, и в первую очередь пластин кремния повышенного диаметра, была возложена на НИИМВ (директор А. Ю. Малинин).

К началу 70-х годов, за неполных два десятилетия развития микроэлектроника перешла к этапу создания больших интегральных схем — БИС, содержащих более 1000 элементов на одном кристалле. Она стала основной базой создания всех радиотехнических систем в стране, и каждый год число заявок на новые разработки увеличивалось. При этом заказы на разработку ИС от предприятий, занимающихся созданием близкой по задачам аппаратуры, могли сильно отличаться, даже если они относились к одному министерству. Военпреды твердо отстаивали позиции своих подопечных фирм, хотя основой для них служили "традиции построения аппаратуры на предприятии", вкусы разработчиков, образцы зарубежной техники. На заявочную кампанию 1971 года в один только НЦ поступило уже около 1000 предложений на разработку новых ИС. При тогдашнем уровне проектирования интегральных схем и технологии их производства удовлетворить все эти заявки было конечно же невозможно, в лучшем случае все НИИ и КБ смогли бы реализовать не более 20 % от числа заказов.

Для выхода из тупиковой ситуации были творчески использованы пути, по которым строились взаимоотношения с заказчиками остальной продукции электронной промышленности. Именно творчески, поскольку различие между интегральной схемой из хотя бы сотни транзисторов на кристалле с каким-нибудь трансформатором или приемо-усилительной лампой слишком велико. Однако, в результате скрупулезной работы специалистов ГНТУ, ЦБПИМСа, предприятий-разработчиков, включавшей частые выезды в заказывающие организации для ознакомления с замыслами главных конструкторов, деталями разработки, имеющимися образцами отечественной и зарубежной техники, стало возможным выработать общий подход к построению параметрических рядов ИС, которые вбирали в себя основные схемотехнические решения, присущие данному классу ИС и технологии их изготовления. Большую роль в достижении общего согласия сыграли военные из ЦНИИ-22 МО — ведущего института по элементной базе радиоэлектронной аппаратуры военного назначения — и головной организации Министерства обороны, курирующей эти проблемы. Их руководители, генералы Р. П. Покровский, П. И. Сугробов, Е. Я. Чаловский, В. П. Балашов, были и настоящими инженерами.

Одним из первых примеров успешного построения параметрического ряда ИС была разработка номенклатуры приборов, обеспечивающих создание перспективных вычислительных комплексов: "Эльбрус", ЕС ЭВМ, СМ ЭВМ. Соглашение с их главными конструкторами: В. С. Бурцевым — директором ИТМ и ВТ Ларионовым А. М., а затем Пржиялковским В. В — директорами НИЦЭВТ, Наумовым Б. Н. - директором ИНЭУМ — было достигнуто непросто, но оно позволило немедленно приступить к реализации этих решений на предприятиях МЭП. Этот удачный опыт полностью подтвердил правильность выработанного подхода и постепенно он стал распространяться на разработки систем других назначений.

Таким вот образом удалось тогда сдержать безудержный рост номенклатуры ИС и избежать "тирании количества", не дать ей утопить не очень еще окрепшую микроэлектронику, и тем самым обеспечить выпуск современной аппаратуры на микросхемах.

Чтобы соответствовать уровню лучших достижений были начаты разработки нескольких наращиваемых рядов интегральных схем для радиосвязи, операционных усилителей, запоминающих устройств и многих других изделий, в каждом из которых было не менее полусотни типов ИС. Одни микросхемы обеспечивали очень высокое быстродействие, но при этом расходовали большую электрическую мощность, другие наоборот имели малое электропотребление, но обладали невысоким быстродействием. Были необходимы и схемы, обладающие средними параметрами. Так появились ИС серий 500, 100, 700, серии 155, 530, 531, 555, и другие, отличавшиеся технологиями. Прообразом для ряда быстродействующих схем серии 500 были взяты серии американских фирм Motorola, Texas Instruments и др.

Постоянной заботой А.И. было поддержание высокого уровня советской электроники, но если интегральные схемы малой и средней степени интеграции еще можно было совершенствовать на традиционной базе, то переход к технологии БИС и СБИС требовал значительного увеличения капиталовложений на оснащение отрасли новым, все более сложным и дорогим оборудованием для их производства и контроля качества. В интегральных схемах начала 70-х годов использовались линии шириной 20 мкм, к середине десятилетия геометрические размеры этих линий уменьшились вдвое, а к его концу вполне обычными для производства микросхем стали размеры 3 мкм, причем уже довольно легко было получать опытные образцы схем с линиями шириной 1 мкм. Увеличение плотности размещения элементов ИС потребовало применения оборудования с высокой разрешающей способностью для переноса конструкций схем на кремний. Сюда включалось и оптико-механическое оборудование, о разработке которого уже говорилось выше, и термическое, и вакуумно-напылительное, химической обработки: нанесение фоторезиста, травление, промывка и т. д., и такое оборудование было создано в МЭПе и выпускалось серийно.

Технология разработки фотошаблонов, которая стимулировала развитие всех литографических методов, настолько усложнилась, что стала невозможной без машинного проектирования. В системе анализа и разработки проектируемой топографии фотошаблона центральным элементом стал диалоговый видеотерминал, снабженный световым пером для внесения изменений. ЭВМ делали все, начиная от проверки логических уравнений и кончая распечаткой команд для установок по производству ИС. Машинное проектирование ИС становилось общепринятым методом. Если большие ЭВМ получали от МРП, то производство мини-компьютеров, необходимых и для проектирования и для управления производственными линиями, было налажено у себя, в шестом главке.

Чтобы получились годные приборы весь цикл производства должен идти в чистейшей среде, исключающей загрязнение поверхности кристалла, и это создает огромные сложности для производства.

Так, технологии изготовления ИС немыслима без создания "чистых комнат", позволяющих уменьшить загрязнение кремниевых пластин пылевыми и другими частичками. Такие помещения начали появляться на предприятиях в конце шестидесятых годов. Для них необходимы были фильтры грубой и тонкой очистки воздуха, малошумящие вентиляторы, создающие ламинарный — безвихревой — поток воздуха в зоне обработки. В первых "чистых комнатах" в 1 м3 где-то не более 3,5 тыс. частичек, но для производства сверхбольших интегральных схем такой воздух был уже слишком пыльным и не годился. Все необходимые компоненты "чистых комнат" были разработаны и выпускались серийно в МЭПе.

Значительную часть времени обработки полупроводниковые пластины проводят в жидких средах. Если кислоты и другие химические материалы закупались у химической промышленности с постоянной борьбой за их немыслимую для химиков чистоту, то вода для промывки кремниевых пластин, которая требуется в огромных количествах, вырабатывалась на самих предприятиях полупроводниковой промышленности. Для этого они должны иметь системы подготовки чистейшей деионизованной воды с двойной дистилляцией и замкнутые контуры ее оборота в водопроводных трубах из нержавеющей стали с очисткой механическими и ионными фильтрами от примесей, ультрафиолетовой очисткой от бактерий и другой органики, поселяющейся в трубах и пр.

С усложнением интегральной технологии возникли трудности соединения миниатюрного кристалла с подложкой гибридной схемы или печатной платы. Самым распространенным решением стало помещение кристалла в корпус из керамики, пластмассы или металла, который с двух сторон имел плоские ленточные выводы, расположенные в два или четыре ряда. Производство корпусов из керамики и металла было налажено на специализированных заводах второго и седьмого главков. Пластмассовые корпуса требовали совершенного инструментального хозяйства для создания точнейших штампов и многоместных пресс-форм, специальной пластмассы, выводных рамок и многого, многого другого. Все это специфическое хозяйство тоже было создано в МЭПе по собственным же разработкам. Особую гордость составляли станки для электроискровой обработки, впервые появившиеся во Фрязино еще в послевоенные годы для производства СВЧ-приборов, а теперь широко распространившихся для изготовления инструмента и оснастки полупроводниковой промышленности.

Последняя стадия полупроводникового производства — технический контроль продукта — для сложной интегральной схемы не могла уже обойтись без дорогостоящего измерительного оборудования с использованием ЭВМ. А.И., прекрасно зная возможности и обязанности МРП, довольно долго упрямо требовал от радистов обеспечения МЭПа измерительными системами для интегральных схем, а те под разными предлогами отказывались. Во всех других подобных случаях А.И. давно махнул бы рукой, а здесь не хотел уступать Калмыкову.

Электронные приборы уже тогда представляли собой очень наукоемкую продукцию. Американские производители электронных компонентов затратили в 1977 году на НИОКР 7 % от общей стоимости продаж продукции, для полупроводниковых приборов и отдельно интегральных схем в 1977 году это составило соответственно 8,5 и 16,4 %, а средний уровень затрат на данные цели для всех фирм обрабатывающей промышленности США, составил только 3,1 % стоимости продаж. Эти проценты, соотнесенные со значительно более высоким объемом производства в США вырастают в громадные затрат, да и они не всегда дают полную картину, поскольку фирмы стараются не учитывать в своей официальной статистике государственное финансирование НИОКР.

Советской электронике таких средств не давали, а требования, в том числе по сроком, увязанным со сроками создания новых систем, оставались, и отсюда вытекала потребность в новых, более эффективных подходах к разработкам интегральных схем. Средство было найдено в переходе к построению с заказчиками комплексно-целевых программ (КЦП). Исходя из сопоставления заявок потребителей с состоянием и прогнозом развития данного направления у себя и за рубежом, в КЦП помимо создания собственно параметрического ряда стали включать разработку базовой технологии, необходимого состава и единиц оборудования, нужных материалов, корпусов, оснастки и т. д. Совмещение системы приборных КЦП с обеспечивающими программами позволяло просчитывать затраты, мощности предприятий, подготовку новых площадей и с нужной достоверностью прогнозировать объемы выпуска различных ИС.

К 1974 году отрасль микроэлектроники развивалась уже главным образом с использованием КЦП. Одна из главнейших называлась "Микропроцессор" и была ориентирована на наиболее важные для текущего момента направления: бортовые ЭВМ для авиации, ракетостроения, кораблестроения, управления станками и технологическим оборудованием. В разработки БИС микропроцессоров были заложены передовые принципы развития таких устройств, предложена микропроцессорная вычислительная система с повышенной производительностью, гибкой перестраиваемой системой команд и расширенными возможностями.

Но прогресс электроники затрагивал не только интегральные схемы, и для поддержки современного уровня аппаратуры требовались все более совершенные новые изделия электронной техники. Не было в мире таких комплектующих, какие бы не могли выпускать в Советском Союзе. Минэлектронпром начал производить новые индуктивные приборы, такие, как трансформаторы и дроссели, в которых были использованы теперь уже привычные ферритовые сердечники. Начался процесс уменьшения габаритов этих изделий и повышения граничной частоты их рабочего частотного диапазона, новые катушки индуктивности с миниатюрными сердечниками были по своим размерам в 1000 раз меньше прежних коммерческих изделий. Производство ферритовых изделий было сосредоточено в седьмом Главном управлении МЭПа.

По-прежнему в аппаратуре широко использовались потенциометры, поскольку схемотехника в основном оставалась пока еще аналоговой, а сервомеханизмы требовали применения электромеханических элементов обратной связи. В ходу были потенциометры самого различного типа: проволочные, керметовые, из проводящей пластмассы, угольные и металлопленочные. Были освоены малогабаритные подстроечные потенциометры.

При разработке конденсаторов основной упор делался на освоение новых материалов и технологии, призванных обеспечить получение большей емкости при меньших габаритах. Новые подстроечные компоненты — потенциометры и конденсаторы перемененной емкости — могли монтироваться непосредственно на печатной плате, а не на передней панели устройства.

Огромная номенклатура коммутационных элементов: разъемных соединителей, кнопочных и галетных переключателей и многое другое выпускалась предприятиями пятого главного управления. И здесь электроника сталкивалась с низким качеством отечественных материалов — металл не давал сочетания необходимой жесткости с усталостными характеристиками.

Ко всем относительно объективным сложностям добавлялись совсем уж субъективные, если не сказать глупые. Весь мир золотил контакты в разъемах, дабы таким способом избежать их окисления, при котором контакты нарушаются, и аппаратура выходит из строя. У нас из соображений ложной экономии — копеечной, так как толщина покрытия составляет не более трех микрон, — это было запрещено. Так же, как и применять тантал в конденсаторах. А ведь тантала в качестве диэлектрика в поляризованных и неполяризованных конденсаторах давал им возможность работать при высоких температурах (с легкостью в пределах 125 °C), да габаритные размеры уменьшались на две трети по сравнению с электролитическими конденсаторами эквивалентной емкости.

Для низковольтных транзисторных схем того периода новые конденсаторы подходили идеально.

Все попытки добиться разрешения применения тантала для конденсаторов или золота для разъемов невоенного применения были тщетны, и проблему эту, вызывавшую справедливые нарекания потребителей, так и не удалось решить. То, что эта копеечная экономия оборачивается громадными потерями при росте весов и габаритов аппаратуры и ее отказов, объяснить ответственным (а точнее — безответственным) чиновникам было невозможно, так как в их сознании электроника по-прежнему оставалась чем-то второстепенным, но с огромными — не по чину — запросами.

Уже первые результаты программа развития электронной промышленности на основе специализации производства и повышения уровня его концентрации подтвердили правильность заложенных в ней подходов. Основные идеи программы и практические результаты ее осуществления были изложены А.И. на прошедшем в августе 1970 года в Ленинграде Всесоюзном семинаре партийных работников и хозяйственных руководителей по изучению опыта организации и работы хозрасчетных объединений в промышленности Советского Союза. Доклад назывался "Специализация и концентрация производства в электронной промышленности".

Позднее свое видение организации работы отраслей промышленности, подтвержденное практикой развития электроники, он решил развить и обобщить в докладной записке в Совет Министров. В те годы по инициативе А. Н. Косыгина проводилась учеба министров, которым раз в неделю читали лекции. Лекторами были и ученые, и сами министры. Вот на таком семинаре и доложил коллегам свои соображения А.И., и, насколько мне известно, особой поддержки не получил. Основная масса министров не хотела перестройки управления с построением вертикальной интеграции своих отраслей, ориентированной на выпуск основной закрепленной номенклатуры. В первую очередь это касалось вопросов развития собственного специального машиностроения.

Мало кто хотел рисковать, беря на себя дополнительную ответственность. Да и зачем, когда можно было привычно и спокойно прикрывать собственные грехи ссылкой на невыполнение каких-нибудь обязательств смежником. Хотя в предложениях и не шла речь о полном перекраивании отраслей, а только об относительно небольших подвижках части предприятий, но и это было встречено в штыки. Никто не хотел поступиться даже малым. Конечно, были и поддержавшие, но их было меньше. Больше всего А.И. был разочарован тем, что председатель Совмина тоже не высказался прямо в его поддержку. Высказанные соображения так и остались висеть в воздухе.

Успехи электронной промышленности в обеспечении создания современных видов вооружения, развития народного хозяйства были очевидны для всякого осведомленного и непредвзятого человека, но у многих руководителей ускоренное развитие электроники вызывало неприятие по чисто субъективным причинам (а то и просто по зависти!). Не понимая или не желая понять, насколько была выстрадана концепция комплексного развития электронной промышленности, и каких неимоверных усилий требовало ее воплощение в жизнь, они пытались объяснить разницу с показателями других отраслей какими-то особыми условиями, неправильным ценообразованием, а то и просто экономическими махинациями, носившими наименование "приписок". "Как это может быть, что в МЭПе фондоотдача растет, а по промышленности в целом падает? Надо разобраться!" — и разбирались, засылая комиссию, убеждались, что все правильно, продолжали высказывать сомнение и присылали следующую комиссию.

Когда в 1974 году А.И. стукнуло 65 лет, то по существовавшим обычаям не наградить его было нельзя, и он получил очередной, пятый по счету, орден Ленина. Из всех действовавших министров оборонных отраслей кроме А.И. только еще министр машиностроения В. В. Бахирев не имел этого звания, но он и был самый молодой по возрасту, да и министром стал только в 1968 году. Славский был Трижды Героем, Устинов имел две Звезды Героя Социалистического Труда, Афанасьев, Бутома, Деменьтьев, Калмыков, Смирнов, Руднев и Зверев — по одной, причем последний получил ее недавно, в 1972 году, к шестидесятилетию. А.И. сам себе цену знал, считал себя не хуже иных, а к наградам уже давно был равнодушен, но такая несправедливость унижала не только его самого, а всю отрасль.

Правда, последующие события показали, что число понимающих значение электроники тоже росло, так же как их влияние и поддержка — в противном случае А.И., каких бы выдающихся способностей он ни имел, достичь успеха не удалось бы. Непримеримая предвятость (иначе не назовешь) партийных чиновников вызвала негодование у всех, кто понимал действительные заслуги А.И. перед государством за сорок с лишним лет работы в оборонной промышленности. Судя по всему, среди возмутившихся был Д. Ф. Устинов, высоко продвинувшийся к этому времени в иерархии руководства страной и бывший еще на подъеме. Так или иначе, но спустя три с небольшим месяца, в начале февраля 1975 года вышел Указ о присвоении А.И. Шокину звания Героя Социалистического Труда, сопроводившийся помимо вручения медали "Серп и Молот" еще одним (шестым) орденом Ленина.

Это событие нельзя считать простым награждением к дате, каких в годы правления Л. И. Брежнева было столь много. Оно отразило определенную подвижку высших кругов к пониманию того факта, что именно электронной промышленности страна обязана всеми достижениями в авиакосмической технике, создании средств вычислительной техники, радиоэлектронных вооружений, и пр. Брежнев, может быть и не до конца понимал место электроники, но был доволен, и проявлением этого "высочайшего удовольствия" стало также избрание А.И. в президиум XXV съезда КПСС 24 февраля 1976 года. Развернутую к съезду в ЦНИИ "Электроника" выставку со ставшим уже традиционным названием "Электроника-76"посетили многие его участники, а позже — в марте — мае — , кто там только не побывал: и хозяева Москвы и Московской области В. В. Гришин и В. И. Конотоп, и президент Академии наук СССР А. П. Александров, и зампред Совмина и сосед А.И. по даче М. А. Лесечко, и даже тот самый П. Н. Демичев. Пришел как всегда А. Н. Косыгин и оставил собственноручную запись в книге почетных посетителей:

"Мне приводилось не раз знакомиться с выставками изделий электронной промышленности. Еще несколько лет назад трудно было себе представить, что за относительно короткий срок электронная промышленность сможет добиться таких больших успехов, о которых свидетельствует сегодняшняя выставка. В настоящее время электроника развивается намного быстрее других отраслей, и с каждым годом все больше возрастает значение и роль ее в народном хозяйстве. Электронная промышленность стала базовой отраслью, которая своей продукцией оказывает серьезное влияние на технический уровень многих отраслей производства.

Перед работниками электронной промышленности поставлены большие, сложные задачи по созданию новых видов электронных изделий и ускорению освоения их серийного производства.

Хочу поздравить с замечательными достижениями ученых, инженерно-технических работников и рабочих, создавших к XXV съезду КПСС ряд новых электронных машин, приборов и других важных изделий, и пожелать им дальнейших творческих успехов.

Можно не сомневаться, что ученые, специалисты и рабочие электронной промышленности успешно справяться с поставленными перед ними задачами.

А. Косыгин

19 / III — 1976 г. "

Побывала на выставке и делегация Министерства обороны во главе с новым, недавно назначенным министром, членом Политбюро маршалом Советского Союза Д. Ф. Устиновым.

Для А.И. новое положение Дмитрия Федоровича означало приход в высшее руководство прежде всего грамотного человека, прекрасно знавшего не только оборонную промышленность (а уж военную технику в деталях), но и ее место в народном хозяйстве в целом — при Хрущеве Устинов занимал пост Председателя Высшего Совета Народного Хозяйства СССР. Несмотря на высокие воинские звания, полученные еще во время войны на посту Наркома оборонной промышленности, маршала Устинова, а не отставленного генерала Родионова можно в гораздо в большей степени считать первым гражданским министром обороны. О том, что он штатский человек, Устинов сразу же и заявил своим новым подчиненным: "Я военных академий не заканчивал, поэтому я не охотник и не рыбак" — Тем самым он дал понять, что теперь их удел работать от зари до зари, как он сам всю жизнь привык. Правда, говорят, что на самом деле охотой он иногда все же баловался.

Новый министр обороны старался укрепить связи военных с промышленностью, улучшить их знакомство с возможностями электроники. В июле семьдесят девятого года он вновь привел весь руководящий состав своего ведомства на выставку в ЦНИИ "Электронике". Так что А.И. был доволен назначением Устинова: "Наш человек — промышленник!"

Устинов начал было проводить политику стандартизации вооружений, унификации военной техники, комплектующих изделий и материалов. Он хорошо представлял, чем например может обернуться в военное время та же огромная номенклатура смазочных масел для танков и т. п. Однако и он не мог совладать с конструкторами, по-прежнему очень влиятельными и капризными, да и сам со своей неуемной энергией стал пробивать все новые разработки военной техники по принципу "дальше всех, быстрее всех, больше всех", не проявляя к ним комплексного подхода и вопреки своим же благим намерениям. В результате число заявок на интегральные схемы сугубо частного применения росло, перегружая ограниченные возможности МЭПа.

Надо думать, что для разработчиков аппаратных систем появление больших, затем сверхбольших интегральных схем, наконец, микропроцессоров, каждый раз сопровождалось такими же, если не более глубокими, психологическими кризисами, какие наблюдались во времена перехода от радиоламп к транзисторам. Хотя сама по себе разработка КЦП уже являлась средством их преодоления, но для лечения применялись и более старые проверенные лекарства — в конце 1975 года министрами МЭП и МРП Шокиным и Плешаковым был подписан совместный приказ о разработке и применении микропроцессоров в важнейшей аппаратуре МРП.

Чтобы обеспечить выпуск всей необходимой микроэлектронной продукции по приказу министра была рассмотрена специализация 26 предприятий полупроводниковой отрасли (НИИ, КБ, заводов). Все они в той или иной степени нуждались в поддержке новым технологическим оборудованием, вычислительной техникой для систем автоматизированного проектирования, необходимыми материалами. Результаты обследования и выработанные мероприятия были сначала обсуждены на НТС Научного Центра с участием первого заместителя министра В. Г. Колесникова, а затем рассмотрены на Координационном НТС министерства и закреплены приказами по Главным управлениям, в которых была отмечена необходимость и неотвратимость будущих изменений и совершенствования как самих технологий, так и специализации предприятий.

Ведущая роль в выполнении принятых решений принадлежала зеленоградцам — головной организацией по разработке ИС, созданию базовых технологий на новые серии ИС был назначен НИИМЭ с заводом "Микрон". Последним, вместе с "Ангстремом", научившимся делать на кристалле по двадцать тысяч транзисторов, в 1975 году было выпущено 18 млн. ИС, половина из которых была с военной приемкой. Наряду с зеленоградскими предприятиями к освоению новой продукции были подключены Минский завод полупроводниковых приборов (будущее ПО "Интеграл", директор П. П. Гойденко), Ленинградское объединение "Светлана" (генеральный директор И. И. Каминский). Кроме этого, интегральные схемы, разработанные в НИИМЭ и НИИТТ, осваивались и выпускались на заводах "Азон" в Баку, "Нуклон" в Шяуляе, "Экситон" в Павловском Посаде, "Мезон" в Кишиневе, "Биллур" в Кировабаде, "Электронприбор" во Фрязино, НИИ "Мион" в Тбилиси, КБПМ в Москве, НИИ "Вента" в Вильнюсе.

В 1976 году предприятия министерства выпустили уже почти 300 млн. ИС, из которых более 85 % были полупроводниковыми. Освоение новых схем на серийных заводах шло сложно, темпы работ, принятые в Зеленограде, часто были им не под силу, возникали конфликты с потребителями и разработчиками, ухудшалось качество. Например, освоенные на заводе "Мезон" ИС "Микроватт" из-за недостаточной надежности заказчик отказался ставить в аппаратуру. По требованию ВПК было принято решение о возобновлении военных поставок схем с завода "Микрон". Возвращение снятых к тому времени здесь с производства микросхем привело к дополнительным осложнениям в работе предприятия. В целом же итоги IX пятилетки показали, что Научный Центр при всех своих успехах и достижениях сработал недостаточно эффективно: ощущался большой дефицит производственных мощностей, опытные заводы зеленоградских НИИ не могли переварить в заданном темпе новые разработки и захлебывались от освоения, выпуска и поставок на важнейшие оборонные заказы новых ИС и БИС.

Сложившаяся в микроэлектронике обстановка начала создавать определенные сложности для устойчивости работы всего министерства, поскольку объем выпуска продукции по Второму ГУ, отвечавшему за полупроводниковую промышленность, составлял уже около 40 % от общего объема выпуска всей отрасли. Главк оказался не в силах самостоятельно управлять некоторыми своими предприятиями, особенно удаленными от Москвы, и руководством министерства было принято решение выделить Научный Центр из его состава, придав ему ряд серийных заводов, НИИ и КБ, расположенных в 5 республиках, создав мощное Научно — производственное объединение с правами главка. Это произошло в июле 1976 года. Новым генеральным директором НПО "Научный Центр" был назначен молодой, но уже достаточно опытный директор НИИ Материаловедения, доктор технических наук, профессор, член-корреспондент АН СССР А. Ю. Малинин.

В состав объединения всего вошли 39 предприятий, с восьмьюдесятью тысячами человек, половина из которых работала в Зеленограде. Создание объединения давало новые возможности, но значительно увеличивало ответственность. Выступая на конференции в Зеленограде, посвященной созданию нового объединения, А.И. так сформулировал его задачи: "Центр должен заниматься концентрацией сил, специализацией, кооперированием, объединить научные силы и мощности, определять главные направления ударов и на них набирать силы.

Большая перспектива лежит в объединении науки с производством, сокращение сроков разработки, освоения САПР, продвижении в направлении создания структуры "институт-завод".

Росла промышленность, рос и министр. Его подход к своей роли полностью соответсвует тому, как ее оценивал такой блестящий инженер, организатор и администратор, как В. А. Малышев. "Нас, руководителей промышленности, — говорил он, — несколько сот человек, а технику делают десятки и сотни тысяч людей. Мы не контролеры и не учителя. МЫ — ИНИЦИАТОРЫ!"23

Возраставшее с каждым годом мастерство А.И. как руководителя отрасли особенно хорошо проявлялось при было проведении заседаний коллегии министерства. Чтобы непосвященный читатель понял, о чем идет речь, поясним, что коллегией министерства в СССР был совещательный орган при министре и под его председательством. Персональный состав коллегии утверждался по представлению соответствующего министра Советом Министров СССР. Обычно в состав коллегии входили заместители министра, некоторые начальники главков, или особо авторитетные специалисты. Коллегии созывались министром для рассмотрения таких вопросов как: проверка исполнения, подбора кадров, отчеты руководящих работников министерства, проекты важнейших приказов, инструкций и т. п. В случае разногласия между министром и коллегией первый имел право проводить в жизнь свое решение, доводя о возникших разногласиях до сведения Совета Министров, а члены коллегии, в свою очередь, могут апеллировать в Совет Министров. Коллегиальное обсуждение помогало министру принимать правильные решения, не ослабляя ответственности за них, которую он нес единолично. Решения Коллегии министерства проводились в жизнь приказом министра. Многие организационные формы возникали и упразднялись, но полезность коллегий с момента их введения в тридцать четвертом году признавалась всегда. Этот порядок сохранился и поныне.

Каждый без исключений четверг А.И. проводил заседания Коллегии МЭПа. Он умел это делать. Кто шел сюда с надеждой, кто с беспокойством, а кто и со страхом. Все кандидаты на назначение директором или главным инженером проходили обсуждение на заседании Коллегии, и здесь для них был первый урок в школе руководства. По свидетельствам очевидцев А.И. проводил обсуждение вопросов просто артистично, так что трудно было не восхититься. Он внимательно слушал докладчиков и выступающих, не отказывая себе в возможности в нужном месте подать реплику — иногда с юмором, иногда с иронией, а то и с сарказмом, — или навести вопросами выступающего на нужную мысль. Подведение итогов обсуждения проходило всегда с глубоким пониманием сути дела. Сам А.И. говорил очень убедительно, с богатой лексикой, сопровождая слова выразительной мимикой. В каждый момент он мог поднять любого из членов Коллегии или из приглашенных, и не дай Бог было продемонстрировать плохое знание предмета.

Вспыльчивый по характеру А.И. мог сильно приложить проштрафившихся, но никогда его целью не было унизить или оскорбить человека. Всегда присутствующим было ясно, что ругает он, болея душой за дело, переживая нанесенный делу ущерб. В целом ему удалось создать в министерстве очень благожелательную атмосферу, и распространялось это не только на аппарат, но и на предприятия, вплоть до рядовых сотрудников.

Мне довелось слышать суждения людей, имевших возможность сравнить людские отношения в МЭПе и в некоторых других отраслях оборонной промышленности. Люди, которые их высказывали, были совершенно разные — один был директором завода на Украине, другой — простым конструктором в Москве, но оба они свидетельствовали почти слово в слово о том, насколько на новом месте работы, куда они по каким-то причинам перешли из МЭПа, отличался в худшую сторону психологический климат. Настолько, что в конце концов оба они вернулись в МЭП. Если первый, делясь своими впечатлениями, знал мою родословную, то второй просто делился со случайным собеседником историей своей жизни, коротая ночь, ничего обо мне не знал и до сих пор не знает.

Раз в год проводилось расширенное заседание Коллегии — актив. Проходило оно в ЦНИИ "Электронике".

Здесь подводились итоги работы отрасли, заслушивались и обсуждались доклады о достигнутых научно-техническим и производственном уровне, важнейших решениях партии и правительства, о руководящих указаниях министерства, о передовом опыте руководящих и низовых работников. С основным докладом обычно выступал министр.

А.И. всегда очень ответственно готовился к своим выступлениям на активе, впрочем, как и в остальных случаях. Он сам намечал основную канву и главные мысли доклада, затем начальники планово — экономического — П. М. Стуколов, научно-технического — В. М. Пролейко — главных управлений, производственные главки готовили соответствующие справки, из которых потом и составлялся текст. А.И. самым тщательным образом, по несколько раз редактировал его, подчеркивая главные мысли, сокращая длинноты, делая содержание доклада ясным и доходчивым. Но как бы ни был хорош текст, А.И., выступая, всегда находил места для импровизации.

На некоторые заседания Коллегии приглашались работники других ведомств, а на активе обязательно присутствовали представители ВПК, Министерства обороны, Госплана, министры оборонных отраслей и др. У всех у них были к МЭПу свои претензии, но отношение к гостям определялось не по принципу "у кого их меньше, тот и хорош". Своих коллег-министров А.И. оценивал, прежде всего, по достижениям возглавляемых ими отраслей, и исходя из этого выделял Министра судостроительной промышленности Б. Е. Бутому и Министра авиационной промышленности П. В. Дементьева, ну и конечно Е. П. Славского, возглавлявшего Средмаш. Более сложными были отношения А.И. с Министром оборонной промышленности С. А. Зверевым. Когда-то, еще во времена совнархозов, Сергей Алексеевич, неудовлетворенный положением дел с разработкой новых фотоприемников для приборов ночного видения, сгоряча добился в правительстве передачи в свое ведомство двух профильных электронных научно-исследовательских институтов, заявив, что справится с этой нестоящей проблемой гораздо лучше. После создания министерств профильные серийные заводы оказались в МЭПе, а институты остались в МОПе и, оторванные от производства стали испытывать все большие трудности. В конечном итоге дело дошло едва ли не до того, чтобы вернуть институты назад вместе со всей проблемой (и ответственностью за нее), но здесь А.И. занял непреклонную позицию — за что отвечать, МЭПу и так хватало. А.И. это Звереву всегда помнил, хотя в нерабочей обстановке они могли общаться вполне мирно. Разрабатывать фотоприемники в интересах Министерства обороны, а тем более МОПа категорически запрещалось, хотя оставшийся научный потенциал в МЭПе по этому направлению был велик и вопросы преодоления технологических трудностей при наличии своего серийного производства (тот же МЭЛЗ) решались куда проще.

Непростые отношения сложились у А.И. с министром приборостроения и автоматизации Константином Николаевичем Рудневым. Возможно, что эти осложнения возникли еще тогда, когда Руднев был Председателем Государственной комиссии на пусках ракет с полигона в Тюра-Таме, но теперь среди причин были и ЧПУ 2У32, и мини-ЭВМ, и особенно электронные часы. В часовой промышленности СССР существовала довольно сильная конкуренция и несколько раз поднимался вопрос о перепрофилировании ряда часовых заводов. К счастью это сделано не было, и борьба за рынок заставляла предприятия Минприбора уделять нетипичное для многих внимание и качеству, и дизайну, и сервису. Но когда на часовой рынок вступил МЭП с совершенно недоступной в то время для Минприбора продукцией, конкуренция вышла уже на другой уровень.

Методы борьбы применялись самые разные, но основным было несогласование технических условий. По существовавшей системе для серийного выпуска продукции была необходима государственную регистрацию технических условий на нее в Госстандарте, а там зорко следили за наличием всего набора согласующих подписей — в том числе так называемого головного министерства. По часам это был Минприбор. К тому же они еще были и средством измерения и вследствие этого должны были пройти экспертизу в самом Госстандарте. Борьба велась на уровне предприятий, главков и руководителей министерств, выискивались любые зацепки для проволочек. Но все было тщетно — электронные часы разных размеров и назначения с цифровой индикацией заняли свое место на магазинных прилавках.